<noframes id="xxvvv"><ruby id="xxvvv"><b id="xxvvv"></b></ruby>
      
      
          <pre id="xxvvv"></pre>
          <ruby id="xxvvv"><ruby id="xxvvv"><var id="xxvvv"></var></ruby></ruby>

          <pre id="xxvvv"></pre>
            <p id="xxvvv"></p>
              您身邊的實驗室方案解決專家
              服務熱線:0371-53370689     15515907258
              logo
              您現在的位置:首頁 > 產品導航 > 物性測試類 > 等離子刻蝕機

              產品導航

              等離子刻蝕機
              編輯: 瀏覽量: 發布日期:2021年4月14日

              品牌:SENTECH

              型號:ICP-RIE SI 500

              產地:德國

              價格:面議

              產品介紹:

                  SI 500為研發和生產提供先進的電感耦合等離子體(ICP)工藝設備。它基于ICP等離子體源PTSA,動態溫度控制的襯底電極,全自動控制的真空系統,使用遠程現場總線技術的先進的SETECH控制軟件和用于操作SI 500的用戶友好的通用接口。靈活性和模塊化是SI 500主要的設計特點。

               500 ICP等離子刻蝕機,可以用于加工各種各樣的襯底,從直徑高達200 mm的晶片到裝載在載片器上的零件。單晶片預真空室保證穩定的工藝條件,并且切換工藝非常容易。

              SI 500 ICP等離子刻蝕機,通過配置可用于刻蝕不同材料,包括但不僅限于例如三五族化合物半導體(GaAs, InP, GaN, InSb),介質,石英,玻璃,硅和硅化合物(SiC, SiGe),還有金屬等。

              SENTECH提供用戶不同級別的自動化程度,從真空片盒載片到一個工藝腔室到六個工藝模塊端口,可用于不同的蝕刻和沉積工藝模塊組成多腔系統,目標是高靈活性或高產量。SI 500 ICP等離子刻蝕機也可用作多腔系統中的工藝模塊。

              上一個:光學接觸角測量儀    
              下一個:臺階儀    
              日本AV在线观看片_亚洲第一狼人伊人av_中日韩_亚洲狼人伊人中文字幕_久久综合伊人